Livrezon gaz Semiconductor: 316L EP vs Electropolished UNS N10276

Nan sistèm livrezon gaz semi-conducteurs, sifas la mouye nan tib la se yon pati nan pwosesis la. Patikil, kontaminasyon metalik ak degassaj soti nan miray la tiyo dirèkteman afekte sede nan nœuds avanse. Electropolished 316L (UNS S31603, EN 1.4404) ak electropolished nikèl-ki baze UNS N10276 reprezante de nivo pèfòmans etabli: 316L-EP pou sèvis gaz inaktif ak ki pa{-korozif, ak UNS N10276 pou chemistride fliyò agresif.

Poukisa sifas fini deside pite gaz

Yon sifas electropolished se tou de douser ak chimikman pwòp pase yon yon sèl mekanikman poli. Elektwopolisaj retire kouch sifas ki deranje, fonn patikil ki entegre yo epi kite yon sifas ki anrichi kwòm- oswa nikèl-ki degaje mwens espès nan kouran gaz la. Pou livrezon gaz, brutality, patikil koule, kontaminasyon metalik ak outgassing se poutèt sa atik spesifikasyon, pa pwopriyete aksidantèl.

316L-EP pou gaz inaktif ak gaz ki pa-korozif

Electropolishing nan 316L reyalize yon sifas ki brutality enteryè Ra anba a 0.15 μm ak patikil koule anba a 5 patikil pou chak pye kib pi wo a 0.1 μm. Sistèm valide pou livrezon nitwojèn ak agon nan 99.9995% pite yo se pratik estanda. Paske 316L se yon molybdène-pote klas austenitic, li tolere tou tras imidite ak ajan netwayaj rezidyèl san pike. Avantaj ekonomik la enpòtan: tib 316L-EP jeneralman pri apeprè 40% pi ba pase altènativ ki baze sou nikèl-nan menm nivo sètifikasyon sifas-fini.

UNS N10276 pou sèvis idrid ak fliyò

Gaz idride tankou asin (AsH3) ak diboran (B2H6), ak konpoze fliyò, dekonpoze katalitik sou sifas fè-pote yo epi atake estanda asye pur. UNS N10276 gen 15-17% molybdène, ki anpeche fliyò idwojèn pa pwodwi yo, epi kontni fè sifas li yo kontwole anba 0.01% pou anpeche dekonpozisyon katalitik. Materyèl la espesifye pou panno gaz ak liy k ap sèvi fabwikasyon avanse-nœuds ak lòt pwosesis kote tras metal lage ta ka fatal nan pwosesis la.

Limit Kontaminasyon ak Degassaj

Paramèt	Kritè akseptasyon
Sodyòm sifas apre 72 èdtan ekspoze	Anba 0.01 ppb
Fè sifas nan pwen itilize	Anba 0.05 ppb
Total metal lou (Ni + Cr + Mo)	Anba 0.1 ppb
Degassaj apre kwit vakyòm	Anba a 5 x 10-11 torr·L/(s·cm2)

Chif sa yo se sib kalifikasyon tipik ke founisè konpozan livrezon gaz yo itilize epi yo verifye pa metòd analyse ki dekri anba a.

Pwotokòl soude ak sekans Validasyon

Orbital gaz tengstèn arc soude yo itilize ak yon purge agon nan 99.999% oswa pi bon, kenbe oksijèn anba a 20 ppm. D 'chalè limite a pi ba pase 15 kJ pou chak pous pou anpeche sansibilizasyon ak fòmasyon delta ferit, ak purge entèn la konsève jiskaske jwenti a refwadi nan tanperati anbyen. Tès koule elyòm anba a 1 x 10-9 mbar·L/s obligatwa pou chak soude oswa asanble. Kalifikasyon yon bouk konplè konbine plizyè teknik: dekonpozisyon faz vapè ki te swiv pa endiktif makonnen espektrometri mas plasma (VPD-ICP-MS) pou metal sifas, tan-de-vol segondè espektrometri mas iyon (TOF{-SIMS) pou kat òganik, konte patikil. IEST-STD-CC1246D Klas 5, ak analiz dekonpozisyon gaz nan tanperati sèvis simulation 400 degre. Pase sekans konplè a konfime ke bouk la pa pral degrade chimi gaz la delivre.

FAQ

Q1. Ki lè 316L-EP ase pou livrezon gaz?

Pou nitwojèn, agon ak lòt gaz inaktif oswa yon ti kras reyaktif nan pite segondè, kote pwosesis la pa enplike idrid, alojèn oswa konpoze fliyò.

Q2. Ki lè UNS N10276 obligatwa?

Pou gaz idride tankou AsH3 ak B2H6, konpoze fliyò ak lòt pwodui chimik ki dekonpoze sou sifas fè oswa ki jenere fliyò idwojèn pa pwodwi-.

Q3. Ki brutality electropolished 316L reyalize?

Ra anba a 0.15 μm sou sifas enteryè a, ak patikil koule anba a 5 patikil pou chak pye kib pi wo a 0.1 μm.

Q4. Ki jan yo mezire kontaminasyon sifas yo?

Pa VPD-ICP-MS pou metal ak TOF-SIMS pou òganik; limit akseptasyon yo anjeneral anba a 0.1 ppb metal lou total nan pwen an nan itilize.

Q5. Ki pousantaj koule ki akseptab pou soude livrezon gaz?

Tès fuit elyòm dwe montre pi ba pase 1 x 10-9 mbar·L/s.

Q6. Èske UNS N10276 koute pi plis pase 316L?

Electropolished 316L anjeneral apeprè 40% mwens chè pase altènativ ki baze sou nikèl-nan menm nivo sètifikasyon an, kidonk UNS N10276 pote yon prim ki koresponn, jistifye kote chimi pwosesis la mande li.